中国自主研发EUV（极紫外）最晚需要多长时间？Deepseek：15年！光刻机

中国自主研发EUV（极紫外）最晚需要多长时间？Deepseek：15年！光刻机的时间表受多重复杂因素影响，目前尚无明确时间点，但可以结合技术进展、政策支持和行业挑战进行综合推测。1.技术现状与挑战 光学系统：蔡司的反射镜表面...